殘余氣體分析儀

特征

• 較為緊湊的安裝尺寸和較輕的重量

與傳統的殘余氣體分析儀相比，尺寸較小，這使它容易整合到您的系統之中。

• 高性能

在只占傳統電極一小部分的體積里，微型化的九電極排列提供了良好的靈敏度。

• 高壓力條件下可使用

可以在高于0.9Pa（7mTorr, 9 x 10^-3mbar）的壓力條件下使用，在許多需要昂貴真空泵的應用當中，可以簡化或者省略泵的使用。

• 已經校準過的可替換傳感器接頭

此傳感器接頭在出貨之前已經進行過預調諧和校準。允許客戶自己在現場進行傳感器的更換。

• 網絡傳感器

升級到八電極后，可以通過一臺使用RS485接口的電腦進行監測。此系統也可以通過以太網進行遠程監測。

• 用戶友好軟件

微電極掃描軟件允許用戶用各種不同的方式監測氣體的部分壓力，如趨勢曲線圖，相似性曲線圖，泄露模式，條形統計圖，3D等

• 監測控制

可選擇性的監測控制器可以安裝在反應室的光譜發生器上，使用戶無需電腦可以監測真空反應室。

■測量原理

殘余氣體分析儀是由一個離子源，一個質量分光儀和一個監測單元組成。當殘余氣體與從高溫金屬絲釋放的熱電子碰撞后，它將被離子化。并且，這些因此產生的離子會加速會合到質量能譜儀上。在質量能譜儀上內，直流和交流電壓被應用到四個圓柱形的電極上（方形排列），從而讓離子因質量的不同而被分離開。這些被分開的離子通過法拉第杯作為直流電被發現。這種離子電流是與殘余氣體的質量成比例的。